產品名稱：熱反射法薄膜導熱儀 NanoTR / PicoTR
產品型號：NanoTR / PicoTR
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產品特點：熱反射法薄膜導熱儀 NanoTR / PicoTRNano TR熱反射法薄膜導熱系數測量儀采用熱反射法精確可靠地測定薄膜的熱擴散系數，是目前市場上*精確的的薄膜導熱測量方法，滿足不同樣品的測試需求。
熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數，如熱擴散系數（Thermal Diffusivity）、熱導率（Thermal Conductivity）、吸熱 系數（Thermal Effusivity）和界面熱阻。
由于激光閃射時間僅為納秒（ns）量級，甚至可達到皮秒（ps）量級，此系統可測量厚度低至10nm的薄膜。同時，系統提供不同的測量模式，以適應于不同的基片情況（透明/不透明）。
該方法符合標準：
JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測量精細陶瓷薄膜的熱擴散系數；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。
| 技術參數 | NanoTR | PicoTR |
| 溫度范圍 | RT，RT … 300°C（選件） | RT，RT … 500°C（選件） |
| 真空度 | N/A | 10-6 mbar（選件） |
| 測量模式 | RF/FF | RF/FF |
| 樣品尺寸 | 10x10 ... 20x20 mm | 10x10 ... 20x20 mm |
| 薄膜厚度 | RF： 金屬：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm | RF： 金屬：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm |
| 基片厚度 | < 1mm | < 1mm |
| 熱擴散溫升時間 | 10ns ... 10µs | 10ps ... 10ns |
| 熱擴散系數 | 0.01…1000 mm2/s | 0.01…1000 mm2/s |
| 測量精度 | 5%(RF), 10%(FF) | 5%(RF), 10%(FF) |
| 操作系統 | Windows 7 | Windows 7 |
熱反射法薄膜導熱儀 NanoTR / PicoTR
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